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電子級羥基乙叉二膦酸（HEDP）

Electronic Grade 1-Hydroxy Ethylidene-1,1-Diphosphonic Acid (HEDP)

一、性能與用途

電子級HEDP為電子級高純產(chǎn)品，具有很強的金屬離子螯合能力，在半導(dǎo)體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝，可以提高研磨效率和光潔度，在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺，提高銅箔表面光潔度。

二、技術(shù)指標(biāo)

項  目 指  標(biāo)
外 觀 無色透明液體 晶體
活性（以HEDP計）/% ≥60.0 ≥90.0
單金屬離子/ppb <10ppb（可根據(jù)客戶需求定制）

三、包裝與貯存

電子級HEDP液體用電子級塑料桶包裝，每桶25kg或200kg，可根據(jù)客戶需求定制。貯存于室內(nèi)陰涼通風(fēng)處，貯存期十二個月。

四、安全與防護(hù)

電子級HEDP為酸性，操作時注意勞動防護(hù)，應(yīng)避免與皮膚、眼睛等接觸，接觸后應(yīng)立即用大量清水沖洗。